• Artykuły
  • Forum
  • Ciekawostki
  • Encyklopedia
  • Fotolitografia



    Podstrony: 1 [2] [3]
    Przeczytaj także...
    Adhezja (łac. adhaesio – przyleganie) – łączenie się ze sobą powierzchniowych warstw ciał fizycznych lub faz (stałych lub ciekłych).Emulsja światłoczuła – zwykle zawiesina drobnokrystalicznych światłoczułych soli srebra - halogenków - w żelatynie.

    Fotolitografia – proces pochodzący z technologii półprzewodnikowej polegający na odtworzeniu wzorów fotomasek na podłożu np. półprzewodnikowym. Celem wykonywania fotolitografii jest uzyskanie pożądanego kształtu powierzchni. Zasada działania fotolitografii jest podobna do litografii w poligrafii.

    Proces fotolitografii jest zazwyczaj wieloetapowy i składa się kolejno z:

    RPM (ang. Revolutions per minute – obroty na minutę, skrót rpm, RPM, r/min, lub r·min) – jest jednostką miary częstotliwości obrotu. Liczba pełnych obrotów w ciągu minuty wokół ustalonej osi.Półprzewodniki − najczęściej substancje krystaliczne, których konduktywność (przewodnictwo właściwe) może być zmieniana w szerokim zakresie (np. 10 do 10 S/cm) poprzez domieszkowanie, ogrzewanie, oświetlenie bądź inne czynniki. Przewodnictwo typowego półprzewodnika plasuje się między przewodnictwem metali i dielektryków.
    1. Przygotowania powierzchni (odtłuszczenie i wygrzanie).
    2. Nałożenia emulsji światłoczułej (najczęściej polega to na pokryciu całej powierzchni nierównomierną warstwą emulsji, a następnie poprzez odwirowanie następuje wyrównanie grubości emulsji na całej powierzchni płytki).
    3. Wygrzewania emulsji (płytkę z nałożoną emulsją wygrzewa się przez pewien czas w suszarce lub na płycie grzewczej).
    4. Naświetlenia (do płytki z emulsją przykładana jest fotomaska, przez którą naświetla się promieniowaniem ultrafioletowym emulsję światłoczułą). Jako źródła światła używa się zazwyczaj lampy rtęciowej (linia I – 365 nm), bądź lasera ekscymerowego.
    5. Wywołania (w tym etapie następuje usunięcie części emulsji, w przypadku emulsji pozytywowej następuje usuniecie naświetlonej emulsji w przypadku emulsji negatywowej – nienaświetlonej części, producenci emulsji dostarczają zazwyczaj wywoływacze, których pełny skład jest tajemnicą firmy często jednak zawierają one NaOH).
    6. Trawienia podłoża lub tworzenia dodatkowych warstw np. metalicznych czy tlenkowych (w miejscach, gdzie nie ma emulsji podłoże zostaje wytrawione lub powstaje dodatkowa warstwa).
    7. Usunięcia pozostałej emulsji z powierzchni płytki.

    Spin coater, także spin-coater lub powlekacz obrotowy – jest to urządzenie służące do powlekania płaskich powierzchni cienką, równomierną warstwą lakieru, farby, emulsji światłoczułych, substancji fotorezystywnych, itp. Znajduje zastosowanie w elektronice, mikromechanice i mechatronice w pierwszym etapie fotolitografii, jakim jest naniesienie warstwy substancji światłoczułej (fotorezystywnej) na powierzchnię, która ma być później poddana trawieniu (w elektronice może to być na przykład krzem, będący podłożem przyszłego układu scalonego). Spin-coating może również zostać użyty do nanoszenia powłok interferencyjnych na elementy układów optycznych.Absorpcja – w optyce proces pochłaniania energii fali elektromagnetycznej przez substancję. Natężenie światła wiązki przechodzącej przez substancję ulega zmniejszeniu nie tylko w wyniku absorpcji, lecz również na skutek rozpraszania światła. O ile jednak promieniowanie rozproszone opuszcza ciało, to część zaabsorbowana zanika powodując wzrost energii wewnętrznej tego ciała.

    Spis treści

  • 1 Etapy procesu fotolitograficznego
  • 1.1 Przygotowanie podłoża i nakładanie fotorezystu
  • 1.2 Przygotowanie maski
  • 1.3 Naświetlanie
  • 1.3.1 Geometria układu naświetlającego
  • 1.3.2 Promieniowanie wykorzystywane do naświetlania
  • 1.3.3 Fotorezysty i wywoływacze
  • 1.4 Dalsza obróbka i usuwanie rezystu
  • 2 Metody konkurencyjne wobec fotolitografii
  • 3 Bibliografia
  • Foton (gr. φως – światło, w dopełniaczu – φοτος, nazwa stworzona przez Gilberta N. Lewisa) jest cząstką elementarną, nie posiadającą ładunku elektrycznego ani momentu magnetycznego, o masie spoczynkowej równej zero (m0 = 0), liczbie spinowej s = 1 (fotony są zatem bozonami). Fotony są nośnikami oddziaływań elektromagnetycznych, a ponieważ wykazują dualizm korpuskularno-falowy, są równocześnie falą elektromagnetyczną.Apertura numeryczna NA (ang. Numerical Aperture) definiowana dla światłowodów jako sinus kąta stożka akceptacji, tzn. maksymalnego kąta w stosunku do osi rdzenia włókna, pod którym światło wprowadzone do światłowodu nie będzie z tego włókna uciekać (z powodu niezachowania warunku dla całkowitego wewnętrznego odbicia). Dla innych przyrządów optycznych jest to sinus maksymalnego kąta, pod jakim fala może na nie padać lub z nich wychodzić.


    Podstrony: 1 [2] [3]



    w oparciu o Wikipedię (licencja GFDL, CC-BY-SA 3.0, autorzy, historia, edycja)

    Warto wiedzieć że... beta

    Rentgenolitografia jest odmianą procesu litografii wykorzystywanej w technice mikroelektronicznej np. przy produkcji procesorów. Polega ona na użyciu fal o długości od 0,4 do 1 nm czyli promieni rentgenowskich.
    Litografia (zob. lit) — technika graficzna zaliczana do druku płaskiego, gdzie rysunek przeznaczony do powielania wykonuje się na kamieniu litograficznym, także odbitki wykonane tą techniką.
    Lepkość (tarcie wewnętrzne, wiskoza) – właściwość płynów i plastycznych ciał stałych charakteryzująca ich opór wewnętrzny przeciw płynięciu. Lepkością nie jest opór przeciw płynięciu powstający na granicy płynu i ścianek naczynia. Lepkość jest jedną z najważniejszych cech płynów (cieczy i gazów).
    Poligrafia jest dziedziną techniki zajmującą się procesami wytwarzania druków. Na przestrzeni wieków zachodziły w niej zmiany, aż osiągnęła ona dzisiejszy etap przemysłowy, którego rozwój zachodzi w jeszcze szybszym tempie. Przemysł poligraficzny jest szczególną dziedziną produkcyjną – obejmuje on opracowywanie wzorców (form drukowych) oryginałów tekstowych i rysunkowych, i drukowanie za ich pomocą kopii, w większości na potrzeby masowego odbiorcy. Jak każdą dziedzinę produkcyjną, tak i poligrafię można określić poprzez wykorzystywane technologie, charakterystykę wyrobów i powiązania z innymi dziedzinami gospodarki.
    Imersja, immersja (z łac. immergo – zanurzam) – metoda stosowana w mikroskopii w celu zwiększenia zdolności rozdzielczej mikroskopu optycznego poprzez wypełnienie przestrzeni pomiędzy preparatem a obiektywem przezroczystą cieczą (cieczą imersyjną) o współczynniku załamania zbliżonym do współczynnika załamania szkła soczewki; często jest to olejek cedrowy. Zapobiega to załamaniu się światła po przejściu ze środowiska optycznie gęstszego (szkła) do środowiska optycznie rzadszego (powietrza) i zaciemnieniu pola widzenia (zwiększana jest apertura liczbowa obiektywu mikroskopu).
    Układ optyczny – zespół dwóch lub więcej elementów optycznych, biorących udział w tworzeniu obrazu w przyrządzie optycznym. W zależności od konstrukcji układu optycznego, światło może przez jego poszczególne elementy przechodzić lub odbijać się od nich. W skład układu optycznego mogą wchodzić takie elementy jak: soczewki, zwierciadła, siatki dyfrakcyjne czy pryzmaty. Elementy te mogą stykać się z sobą bezpośrednio lub być od siebie oddalone.
    Rozdzielczość optyczna – wielkość określająca zdolność systemu przetwarzania obrazu do rozróżnienia szczegółów odwzorowywanego obiektu.

    Reklama

    Czas generowania strony: 0.041 sek.